91000-17-Evactron CombiClean System-化学试剂

2024-07-24

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Evactron CombiClean System,产品型号:91000-17。Evactron CombiClean System,描述:规格:

  • VentDetect™ 技术

  • 与旋片泵兼容,无需担心油回流

  • 干氮气吹扫功能可在等离子清洗后保持样品清洁

  • 存储模式允许在使用外部 PRS 时持续对样品进行干燥氮气吹扫

  • 系统监控任一 PRS 单元的操作

  • 板载控制允许只需轻按一下开关即可在内部和外部 PRS 之间切换清洁模式

  • 宽压力范围

泵规格:
  • 额定流量为 4 cfm/6.8 m3/h 或更高的干式涡旋泵。

  • 选额定值为 ~8 cfm/13.5 m3/h 的泵。

  • 您可能需要将泵阀上的 KF16 法兰与许多低真空泵上的 KF25 法兰相匹配。

  • 使用直径为 2.5 厘米或更大的粗线。

该系统具有一个带嵌入式软件的微处理器,用于调节泄漏阀并通过 MicroPirani 压力表控制腔室压力。

微处理器还调节 RF 功率,有一个时钟来为下游等离子体清洁和氮气吹扫周期计时,并记录操作和故障日志。

可以从前面板或远程计算机设置使用 Evactron 。

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