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Evactron SoftClean EP，产品型号：91000-15。Evactron SoftClean EP，描述：

规格：

• 清洁 SEM/TEM 样品

• 清洁 TEM 网格/样品棒

• 惰性样品储存

• 只需将空气用于氧自由基，或将其他气体用于替代等离子体工艺

• 易于设置和操作。预设压力、功率和时间设置

• 可从前面板或计算机界面操作

• 可选的护罩可以覆盖等离子自由基源上的换能器和阀门组件

• 使用腔室通风口和疏散控制装置开始清洁

• 先进的等离子体检测逻辑

• 清理和错误日志记录历史记录并帮助故障排除

• 电子机箱：3.5"H x 19"W x 7"D (9 x 23 x 48 cm)

• 射频功率：13.56 MHz 时为 5-20 瓦

• KF 40 真空安装法兰，可提供适配法兰

• 90-250 伏交流 50/60 赫兹输入

• 运费：20 磅（10 公斤）

特征：

• Windows 和安卓 GUI 软件

• 可选的 Safar 侧面装载机（US 8,716,676 B2）

• 最多可容纳三个 TEM 载物台杆

泵规格：

• 额定流量为 4 cfm/6.8 m3/h 或更高的干式涡旋泵。

• 选额定值为 ~8 cfm/13.5 m3/h 的泵。

• 您可能需要将泵阀上的 KF16 法兰改造成许多低真空泵上的 KF25 法兰。

• 使用直径为 2.5 厘米或更大的粗线。

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