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Evactron 25 Zephyr Plasma Decontaminator，产品型号：91000-10。Evactron 25 Zephyr Plasma Decontaminator，描述：

这种易于使用的桌面模型可轻松去除 SEM、FIB 和其他真空室中的大气碳氢化合物和碳污染物。

Evactron® 25 型 Zephyr 去污器使用远程射频等离子体产生气相自由基，这些自由基流向下游通过腔室消除污染。

该模型是为使用涡轮分子泵 (TMP) 的腔室创建的。它设计用于在 1-50 mTorr 的涡轮压力范围内清洁/净化，并且对 TMP 温度没有不利影响。

特征：

• 在涡轮泵压力下清洁腔室

• 5-20 瓦射频功率

• 清洁率提高 ≥10 倍

• 一键操作

• 1-50 mTorr 工作压力

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